Ki sa ki eleman lazè liy lan pou enspeksyon wafer?

Nan endistri semi-conducteurs, domaj sifas ki piti anpil ak patikil yo se yon gwo pwoblèm, ki ka diminye pwodiksyon an ak konsome tan ak pri pwodiksyon an. Se poutèt sa, detekte domaj ak kontaminasyon sou sifas wafer semi-conducteurs se kritik, yon defi fè fas pa anpil kliyan nan endistri a metroloji semi-conducteurs. Youn nan metòd rapid ak pri-efikas pou enspeksyon sifas wafer se sèvi ak limyè liy lazè ak mikwoskòp jaden fè nwa / klere pou detekte domaj, tipikman anba a 100nm nan longèdonn iltravyolèt gwo twou san fon (DUV). Nan metòd sa a, Holoor montre ke lè yo tcheke liy lan radial, wafer la wotasyon, kreye yon zòn echantiyon gwo nan wafer la, ki ka diminye tan an optik. Depi pifò lazè iltravyolèt ak gwo twou san fon iltravyolèt pa gen yon pwofil pwodiksyon liy, aeleman lazè liyse souvan itilize yo fòme lazè a nan yon fòm liy.

Kondisyon pou itilize eleman optik lazè liy nan enspeksyon wafer semi-conducteurs

Kondisyon yo pou deteksyon defo wafer lè l sèvi avèk liy lazè nan longèdonn iltravyolèt gwo twou san fon yo trè strik - souvan yo dwe liy trè long (> 10mm), pandan y ap kenbe liy lazè a. 10um etwat lajè ak ekselan inifòmite. Pou mikwoskopi jaden nwa, liy lazè a bezwen pwojte sou wafer la nan yon ang patiraj pandan y ap rete byen konsantre sou yon longè liy trè long. Liy sa yo pa ka anjeneral reyalize pa yon sèl eleman optik difrakte, tankou yon homogenizer lineyè, paske yo pwodui speckles sou yon lazè sèl-mòd, pandan y ap yon lazè multimode pa ka konsantre sou yon liy sere nan yon pwofondè rezonab nan konsantre.

Kalite pèfòmans sa a mande pou gwo-presizyon optik ki fòme gwo bout bwa Holoor a jenere liy lazè ak klète kwen an vle, inifòmite, lajè, ak longè. Ka presizyon sa a souvan reyalize pa optik difraktif oswa optik fòm gratis.

Metòd fòm gwo bout bwa pou deteksyon defo wafer

Kondisyon yo sevè pou modil lazè lineyè endike ke gen plizyè solisyon posib pou defi yo nan fòm gwo bout bwa, tout nan yo ki mande pou sistèm optik refraksyon difraktif oswa fòm lib ak konpozan milti-konpozan.

Pou ka tipik ak longè liy ki nan ranje 10-20mm, yon sèl mòd lazè iltravyolèt pwofon bay ase pouvwa pou deteksyon. Sitiyasyon sa a mande pou plizyè eleman plat-tèt gwo bout bwa fòme, kote premye eleman pwodui liy ak dènye eleman nan sistèm nan se menm jan ak yon lantiy optik diffractive, ki itilize pou kolimate liy yo epi konsantre yo sou aks rapid ak dousman. Pou liy trè long, li se anjeneral ＞50mm, sèl-mòd lazè DUV raman gen gwo pouvwa lazè. Se poutèt sa, yo dwe itilize yon lazè multimode, ki egzije yon transfòmasyon M2 pou konsantre sou liy etwat la. Sa a ka reyalize pa konbine solisyon diffraction tankou Leanline ak homogenizers liy yo pwodwi bon inifòmite. Splitter gwo bout bwa lazè eleman optik difraktif yo ka itilize pou jenere liy fokal ak menm entansite a. Liy la itilize pou eskane sou yon chemen radial nan wafer la, sa ki pèmèt deteksyon defo-wo rezolisyon nan pi ba pouvwa lazè. Sa a vini nan pri a nan ralanti vitès optik la, depi zòn nan imaj nan nenpòt ki lè yo se siyifikativman pi piti.

Avantaj lè yo itilize kòm yon eleman fòm kle nan eleman lazè nan liy optik difraktif ofri plizyè avantaj kle nan fòme yon lazè nan yon liy (oswa liy) pou aplikasyon pou mande tankou mesure wafer:

1. Difraktif eleman optik yo gen presizyon angilè prèske absoli - sa a enpòtan anpil lè distans egzak bezwen mezire, tankou nan aplikasyon metroloji presizyon.

2. Eleman optik difraktif gen yon gwo LDT (papòt domaj), ak eleman optik Doe yo anjeneral eleman plat, pou yo ka dirèkteman entegre nan sistèm milti-konpozan.

3.DOE eleman optik ka konbine plizyè fonksyon sou yon sèl sifas. Pou egzanp, yon splitter liy lazè ka itilize nan konbinezon ak yon difize liy jenere liy miltip, ki pèmèt deteksyon defo milti-chanèl (pèmèt piksèl nan yon detektè lineyè "repoze" san limyè iltravyolèt gwo twou san fon).

4. Lazè travès fòm optik ki baze sou eleman optik difraktif gen trè ba sansiblite tèmik, prèske pa gen okenn lantiy tèmik, menm yon defocus ti tay pral domaje pèfòmans, kidonk li se patikilyèman apwopriye pou etwat liy lazè fòme.

Kesyon ak Repons:

1. Ki jan yo ka itilize eleman lazè liy pou deteksyon defo wafer?

Nan enspeksyon wafer, travès gwo twou san fon iltravyolèt oswa liy tach yo itilize kòm sous ekleraj pou reyalize rezolisyon. 100nm segondè rezolisyon mikwoskopi jaden klere oswa nwa. Liy la pwodwi pa yon eleman lazè liy oswa yon splitter liy lazè.

2. Ki defi yo nan fòm liy lazè nan enspeksyon wafer?

Aplikasyon metrolojik tankou deteksyon defo wafer mande pou aks long (> 10mm) fòs trè inifòm, pandan ke anjeneral yo mande yo. Liy etwat 10um pou kenbe rezolisyon deteksyon defo segondè. Bor byen file yo tou obligatwa, ak nan mikwoskopi jaden nwa, liy yo bezwen tou pwojte nan yon ang patiraj segondè pandan y ap toujou kenbe konsantre sere yo.

3. Ki metòd fòm travès yo itilize pou deteksyon defo wafer?

Yon tach lineyè tipik se yon sistèm milti-konpozan ki pwodui yon liy etwat plat-antè, kolimate konsantre sou sifas la. Altènativman, yon splitter lazè ka pwodwi yon liy limyè ki ka analize radialman pandan w ap vire wafer la. Liy ki pi long yo mande pou pi wo pouvwa lazè, ki ka sèlman reyalize ak lazè milti-mòd. Se poutèt sa, eleman optik nan yon dèlko liy lazè anjeneral gen ladan yon eleman konvèsyon M2 ki pèmèt liy lan dwe byen konsantre sou yon sèl aks pandan y ap fè li plis inifòm sou dezyèm aks la, ki te swiv pa yon fèy nivelman liy ak yon eleman optik konsantre.

4. Ki avantaj ki genyen nan konpozan optik difraktif modil lineyè lazè?

Modil lazè liy diffraction bay presizyon angilè prèske absoli, yon paramèt kle ki nesesè pou estabilize pwosesis metroloji a. Yo gen tou plat, gwo papòt domaj, ak kapasite nan entegre optik miltip sou yon sèl sifas, ki fè yo ideyal pou sistèm milti-konpozan opere ak gwo pouvwa DUVs.

Enfòmasyon pou kontakte:

Si ou gen nenpòt lide, santi yo lib pou pale ak nou. Kèlkeswa kote kliyan nou yo ye ak ki kondisyon nou yo ye, nou pral swiv objektif nou yo bay kliyan nou yo bon jan kalite segondè, pri ki ba, ak pi bon sèvis la.